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Sep 17, 2023

アイメックのアパート

Dall'editore PR | 13 ottobre 2022 Al 2022 IEEE International Ultrasonics

PR編集者より | 2022 年 10 月 13 日

2022 IEEE 国際超音波シンポジウムで、ナノエレクトロニクスおよびデジタル技術における世界をリードする研究革新センターである imec は、フラット パネル ディスプレイ (FPD) プロセス テクノロジと互換性のある圧電マイクロマシン超音波トランスデューサ (pMUT) アレイを発表しました。 このアレイは、空中で 1kPa を超える音圧を実証します。これは、空中触覚と指向性サウンドの実現に関連する圧力レベルです。 ウェーハベースのプロセスから FPD 互換プロセスに移行することで、振動触覚、飛行時間型 (3D) センシング、またはジェスチャ認識などの将来の空中アプリケーションをスマートフォンやスマートフォンなどの新しいフォームファクターで統合するための pMUT テクノロジーが準備されます。車のダッシュボード。 このテクノロジーは、自動車および消費者アプリケーションでタッチレスでインタラクティブな画面を作成したり、ゲームで使用したりするために使用できます。

(A) 直径 500 μm の pMUT の 22 個の段階的な環状リングで構成される大面積 pMUT アレイ (B) 詳細。

超音波技術を使用すると、スマート システムに触覚フィードバックを装備し、ユーザーに触覚を与えることができます。 空中ハプティクスの場合、超音波は局所的な圧力場を生成し、ユーザーは物体に触れずに光の感覚を「感じる」ことができます。 このような用途では、低い超音波周波数での高圧が必要です。 現在のソリューションには、一方では、比較的高い周波数を生成する大型の標準的な圧電素子が含まれており、ユーザーとの正確な対話を妨げます。 一方、小型のシリコンベースの微細加工トランスデューサーアレイは、狭い領域の近距離でのみ触覚フィードバックを可能にします。 当社の FPD 互換薄膜 pMUT テクノロジーは、本質的にディスプレイ製造技術との互換性が高くなります。 したがって、前例のない領域と経験の深さを備えたアプリケーションへの道が開かれます。

pMUT アレイの中心から 30 mm 上の高さで測定されたピーク焦点圧

Imec の FPD 互換薄膜 pMUT アレイは、大容量空中アプリケーション向けの低周波高圧デバイスのニッチ市場を埋めています。 我々は、200 ～ 400 kHz の範囲の共振周波数で空気中で約 1.5 kPa のピーク圧力を実証し、Si ウェハーベースのプラットフォームで実証された空中触覚フィードバックの性能測定基準を再現しました。

imec の MEMS 超音波プログラム ディレクターである Erwin Hijzen 氏は、「当社は現在、当社の FPD テクノロジーのウェハレベルのデモンストレーションとプロトタイピング ソリューションを関係者に提供しています。さらに、大面積パネルおよびプレートの大量生産のための提携も検討しています」と述べています。

「当社の pMUT 技術を大型パネルやディスプレイに統合できることは、大面積センサー表面で当社のビジョンを実現する上で重要なマイルストーンです。当社は体内イメージング用の超音波トランスデューサーからスタートし、現在はハプティクスなどの空中アプリケーションに移行しています。 」 imec のセンサーおよびアクチュエーターのフェローである Xavier Rottenberg 氏は次のように結論付けています。

アイメックwww.imec-int.com